半导体手套箱品牌
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手套箱操作步骤

抽真空与充气的放法:

1、本产品分为主箱体和过渡室两部分。主箱体不能单独抽真空,过渡室则可以单独抽真空。

2、先打开过渡室里面的门,然后关上所有手套接口压盖、阀门和过渡室外的门。

3、打开手套口之间的三通阀(逆时针旋转),将手套接口压盖与手套之间的空间接通箱体,使得抽气时手套内外(箱体和接口)同时抽真空,保持两边气压平衡。

4、将真空泵接到过渡室一个阀门上,开启真空泵,缓缓打开此阀门,对系统抽气(如打开阀门的速度太快,可能引起手套膨胀)。

5、待真空表指针下降并稳定在—0.1MPa时,抽真空完成,此时应先关阀门再关真空泵。

6、然后通过另一阀门向箱体内充入惰性气体,直至气压比大气压(气压表指数为0MPa)略高一点,使箱体内、外的压力基本平衡,半导体手套箱品牌,且内部略高于外部,可保证大气不会渗入箱体内部(如果您想使箱体内的气体更纯净,将以上抽气和充气过程重复几次)。关掉连接手套接口的三通阀,打开手套接口上的压盖,就可以进行操作了。

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手套箱的日常维护保养

1.要从手套箱内取出放在过渡舱内的样品前,须先将过渡舱上的开关转至“真空”位置,将舱内的空气抽出,再转制“填充”,使干燥洁净的气体由手套箱内进入过渡舱内,重复一、二次之后,即可从手套箱内将过渡舱门打开,取出样品。

2.使用设备时,禁止佩戴手表、戒指等有可能刺破手套的东西,若使用尖锐物品时,也要格外注意以免刺破手套,指甲过长也有几率刺破手套。

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手套箱常见故障及解决办法

1、清洗时箱压持续增加

原因:清洗阀门没有打开、进气压力太大、管路不畅通造成。

办法:①保证管路畅通,不要折弯;②清洗时,箱内相对压力持续低于0.5毫巴。

2、净化柱主阀故障

原因:①工作气压力不足0.5Mpa;②主阀信号反馈故障。

办法:①更换工作气瓶,或检查减压阀副表压力在0.5Mpa;②检查主阀信号开关。

3、循环不能开启

原因:风机变频器低压或高压保护。

办法:待电压稳定后,关机隔1分钟后重启。

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